Mikroskop altında incelenen canlıların fosili oluşabilir mi?

Evet, oluşabilir. Ama "terliksi hayvan" ya da amip gibi çıplak tek hücreliler için çok nadir bir olay. Fosil kaydında mikroskobik canlılar var, fakat bunların çoğu sert kabuğu ya da duvarı olan gruplar.

Asıl belirleyici olan, canlının mineralleşebilen bir yapısının olması. Çıplak amip ya da silli bir Paramecium ölünce hücre zarı ve sitoplazma hızla bozunur, geriye fosilleşecek sert bir şey kalmaz. O yüzden bunların fosili neredeyse hiç yoktur.

Kabuklu olanlarda durum değişiyor:

• Foraminiferler: Kalsiyum karbonat kavkıları var. Deniz çökellerinde milyonlarca yıldır birikiyorlar, petrol arama ve eski iklim çalışmalarının ana malzemelerinden.
• Radyolaryalar: Silisten iskeletleri var, Kambriyen'den beri kayıtlı.
• Diyatomlar: Silis kabuklu algler. Teknik olarak hayvan değil ama mikroskobik ve fosilleri bol. Diyatomit denen kayaç bunlardan oluşur.
• Kabuklu amipler (testate amiplar): Kendi ürettikleri ya da çevreden topladıkları parçalarla kabuk yapıyorlar. Turba ve göl tortullarında fosilleri bulunuyor, geçmiş nem koşullarını yeniden kurmakta kullanılıyor.

Çıplak hücreler için istisna olarak çok ince taneli, oksijensiz ortamlarda ya da kehribar gibi reçinelerde hızla gömülme sayesinde yumuşak dokunun izi korunabiliyor. Kehribarda tek hücreliler ve bazı protistler bu yolla bulunmuş. Ancak bu tür örnekler nadirdir ve çoğu kez tür düzeyinde kesin tanı koymak zordur. Çok eski hücresel yapılar için (örneğin ~1 milyar yıllık çökellerdeki mikrofosiller) yorumlar da tartışmaya açık kalabiliyor.

Kısacası mikroskobik olmak fosilleşmeyi engellemiyor, engelleyen şey sert yapının olmaması. Sorunuzdaki iki örnek için cevap "pratikte hayır", kabuklu akrabaları için ise "evet, hem de bol miktarda".